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专利状态

一种非制冷式红外焦平面阵列探测器

有效

专利申请进度

申请

2011-05-11

申请公布

2011-12-14

授权

2013-01-09

预估到期

2031-05-11

专利基础信息

申请号	CN201110120925.6	申请日	2011-05-11
申请公布号	CN102280455A	申请公布日	2011-12-14
授权公布号	CN102280455B	授权公告日	2013-01-09
分类号	H01L27/144;G01J5/20
分类	基本电气元件;
申请人名称	武汉高德红外股份有限公司
申请人地址	湖北省武汉市洪山区书城路26号

专利法律状态

2013-01-09

授权

状态信息

授权
2012-02-01

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):H01L 27/144申请日:20110511
2011-12-14

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及一种非制冷式红外焦平面阵列探测器，结构为桥腿的一边端部与桥面连接在一起，另一边端部通过锚柱连接在基底上；所述的基底为读出集成电路衬底，表面上设有反射膜层；所述的桥面是悬空在反射膜层的正上方，并与基底之间形成真空间隙层；所述的桥腿设置在桥面相对应的二侧上，且桥腿与桥面各自的下表面分布于同一平面上。所述的桥面从下到上依次为支撑层、吸收层、绝缘层、热敏感层和保护层；桥腿从下到上依次为热阻层、导电层和钝化层。所述的锚柱由金属钨柱和氧化硅柱组成，该锚柱从内到外依次是金属钨和氧化硅材料。本发明的锚柱是一种新型锚柱，相比传统填充工艺形成的锚柱来说，缩小了锚柱所占的面积，并且降低了工艺难度。